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Gravure

L'état des parois internes d'un équipement de gravure modifiant les résultats, comment appelle-t-on le traitement de plaquettes factices avant les produits pour stabiliser cet état ?

  1. AConditionnement (seasoning)
  2. BAshing
  3. CDépôt
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Réponse : A. Conditionnement (seasoning)

Des produits de réaction se déposent sur les parois internes d'un équipement de gravure, et leur état modifie notamment la proportion de radicaux perdus aux parois, ce qui fait varier la composition du plasma et les résultats de gravure. Le seasoning consiste, par exemple après un nettoyage ou un remplacement de pièces, à traiter des plaquettes factices pour déposer un film constant sur les parois, ajuster leur état et stabiliser les résultats. On utilise aussi désormais des méthodes réinitialisant les parois dans le même état avant chaque traitement.

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