Comment appelle-t-on, en gravure de grille, le phénomène par lequel le flanc du motif est creusé latéralement près de l'interface avec l'isolant sous-jacent ?

Réponse : B. Notching

Le notching est le phénomène par lequel, une fois la gravure parvenue à l'isolant sous-jacent, des charges positives d'ions s'accumulent à sa surface et dévient latéralement la trajectoire des ions suivants, creusant latéralement le pied du motif. Il survient particulièrement aux extrémités des motifs et modifie localement la longueur de grille, d'où une dispersion des caractéristiques des transistors. On le combat en limitant les charges par plasma pulsé ou polarisation basse fréquence, ou en optimisant les conditions de surgravure.