Quel est l'avantage du plasma pulsé, qui grave en alternant l'activation et la coupure de la puissance haute fréquence ?

Réponse : C. La température électronique et l'énergie des ions sont plus faciles à contrôler, ce qui limite l'accumulation de charges et les dommages

En plasma pulsé, pendant les quelques dizaines de µs de coupure, la température électronique chute brusquement et des ions négatifs se forment, ce qui facilite la neutralisation des charges en surface de la plaquette. Le rapport cyclique et la fréquence permettent aussi d'ajuster l'énergie des ions et la proportion des espèces radicalaires ; il est donc utilisé dans les procédés avancés pour limiter les anomalies de profil dues au notching et à l'ombrage électronique, ainsi que les dommages au diélectrique de grille.