Pourquoi retire-t-on les produits de réaction (polymères) restés sur les flancs des motifs après gravure sèche ?

Réponse : A. Pour éviter les défauts aux étapes suivantes et la dégradation des caractéristiques électriques

Si des polymères, comme la couche de passivation déposée sur les flancs pendant la gravure, subsistent, l'adhérence du dépôt suivant se dégrade, la résistance de contact augmente, ou des résidus chlorés corrodent les interconnexions en aluminium. On les retire donc soigneusement par ashing et nettoyage avec des solutions organiques ou fluorées. Dans les interconnexions avancées, l'équilibre entre efficacité du retrait et dommages aux matériaux est essentiel pour que les solutions n'endommagent pas les films low-k ou les métaux fins.