Wie heißt das Bearbeiten von Dummy-Wafern vor Produktwafern, um den Zustand einer Ätzanlage zu stabilisieren, da sich das Ätzergebnis mit dem Zustand der Kammerwand ändert?

Antwort: A. Seasoning

An den Innenwänden von Ätzanlagen haften Reaktionsprodukte, und je nach deren Zustand ändert sich z. B. der Anteil der an der Wand verlorenen Radikale, sodass Plasmazusammensetzung und Ätzergebnis schwanken. Seasoning ist das Bearbeiten von Dummy-Wafern, etwa direkt nach Reinigung oder Bauteilwechsel, bei dem sich ein definierter Film an der Innenwand bildet, der Zustand eingestellt und das Ätzergebnis stabilisiert wird. In letzter Zeit werden auch Verfahren eingesetzt, die die Wand vor jeder Bearbeitung in denselben Zustand zurücksetzen.