Nederlands
Menu

Etsen

Hoe heet het verwerken van dummywafers vóór productwafers om de toestand te stabiliseren, omdat het bewerkingsresultaat verandert met de toestand van de binnenwand van de etsapparatuur?

  1. ASeasoning
  2. BAshing
  3. CDepositie
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Seasoning

Op de binnenwand van etsapparatuur hechten reactieproducten, en afhankelijk van die toestand verandert onder meer het aandeel radicalen dat aan de wand verloren gaat, waardoor de plasmasamenstelling en het bewerkingsresultaat schommelen. Seasoning is het verwerken van dummywafers, bijvoorbeeld direct na reiniging of vervanging van onderdelen, om een bepaalde film op de binnenwand aan te brengen, de toestand op orde te brengen en het bewerkingsresultaat te stabiliseren. Tegenwoordig wordt ook gebruikt dat de wand vóór elke bewerking in dezelfde toestand wordt teruggebracht.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Etsen

  1. Welk voordeel van gepulst plasma, waarbij tijdens het etsen het hoogfrequente plasmavermogen aan en uit wordt geschakeld, is juist?
  2. Welk gas wordt over het algemeen gebruikt voor het droog etsen van GaN?
  3. Welke reden waarom het moeilijk is Cu-bedrading rechtstreeks met droog etsen te bewerken is juist?
  4. Hoe heet het verschijnsel dat bij het etsen van een gate de zijkant van het patroon nabij de grens met de onderliggende isolatiefilm zijwaarts wordt uitgehold?
  5. Waarom worden na droog etsen reactieproducten (polymeer) die op bijvoorbeeld de zijwanden van het patroon zijn achtergebleven verwijderd?

Vergelijkingen bij dit onderwerp