식각

식각 장치의 내벽 상태가 변하면 가공 결과가 변동되므로, 제품 처리 전에 더미 웨이퍼를 처리하여 상태를 안정시키는 것을 무엇이라고 부르는가?

  1. A시즈닝
  2. B애싱
  3. C디포지션
정답과 해설 보기

정답: A. 시즈닝

식각 장치의 내벽에는 반응 생성물이 부착되며, 그 상태에 따라 라디칼이 벽에서 소실되는 비율 등이 바뀌기 때문에 플라즈마의 조성과 가공 결과가 변동됩니다. 클리닝이나 부품 교체 직후 등에 더미 웨이퍼를 처리하여 내벽에 일정한 막을 입혀 상태를 정돈하고 가공 결과를 안정시키는 작업이 시즈닝입니다. 최근에는 매번 처리 전에 벽을 같은 상태로 리셋하는 방법도 사용됩니다.

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