エッチング エッチング装置の内壁の状態が変わると加工結果が変動するため、製品の前にダミーウエハを処理して状態を安定させることを何と呼ぶか。 Aシーズニング Bアッシング Cデポジション 答えと解説を見る 正解：A. シーズニング エッチング装置の内壁には反応生成物が付着し、その状態によってプラズマ中のラジカルの量などが変わります。クリーニングの直後などに、ダミーウエハを処理して内壁の状態を整え、加工結果を安定させる作業をシーズニングといいます。