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Gravure

Pourquoi la gravure avec plaquette refroidie à température cryogénique suscite-t-elle l'intérêt pour l'usinage à fort rapport d'aspect ?

  1. AParce que la vitesse de gravure devient nulle
  2. BParce que les réactions sur les flancs sont limitées, ce qui facilite une gravure profonde, rapide et verticale
  3. CParce que le plasma devient inutile
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Réponse : B. Parce que les réactions sur les flancs sont limitées, ce qui facilite une gravure profonde, rapide et verticale

Lorsque la plaquette est refroidie à température cryogénique, par exemple −60 ℃ ou moins, les réactions chimiques spontanées des radicaux sur les flancs sont limitées et les produits de réaction ou gaz condensés jouent le rôle de couche de passivation, tandis que la gravure progresse au fond, là où frappent les ions. On estime ainsi pouvoir graver des trous profonds et verticaux à plus de deux fois la vitesse conventionnelle, et la technique est introduite pour les trous mémoire de la 3D NAND. Les technologies de refroidissement des équipements et le choix de gaz comme le fluorure d'hydrogène sont déterminants.

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