식각

SiO2의 습식 식각에 사용되는, 불산을 불화암모늄으로 완충한 용액은?

  1. ASPM
  2. B뜨거운 인산
  3. C버퍼드 불산(BHF)
정답과 해설 보기

정답: C. 버퍼드 불산(BHF)

버퍼드 불산은 불산에 불화암모늄을 첨가하여 pH를 안정시킨 용액으로, 산화막을 녹이는 주성분(HF2⁻)의 농도가 용액 소모에 따라 잘 변하지 않아 식각 속도가 안정적이고 레지스트도 잘 벗겨지지 않는 특징이 있습니다. 열산화막에서 분당 수십~100 nm 정도의 속도입니다. 산화막 패터닝, 자연 산화막 제거, 막질 평가 등에 사용되어 왔습니다.

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