Ätzen

Welche beim Nassätzen von SiO2 verwendete Lösung ist mit Ammoniumfluorid gepufferte Flusssäure?

  1. ASPM
  2. BHeiße Phosphorsäure
  3. CGepufferte Flusssäure (BHF)
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Antwort: C. Gepufferte Flusssäure (BHF)

Gepufferte Flusssäure ist eine Lösung, bei der durch Zugabe von Ammoniumfluorid zur Flusssäure der pH-Wert stabilisiert wird; die Konzentration des oxidlösenden Hauptbestandteils (HF2⁻) ändert sich durch Verbrauch der Lösung kaum, die Ätzrate ist stabil, und der Resist löst sich nicht so leicht ab. Bei thermischem Oxid beträgt die Rate einige zehn bis etwa 100 nm pro Minute. Sie wird zur Strukturierung von Oxid, zur Entfernung von natürlichem Oxid und zur Bewertung der Schichtqualität verwendet.

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