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Gravure

Si la vitesse de gravure de l'oxyde est de 100 nm/min et la vitesse d'érosion du masque de 20 nm/min, quelle est la sélectivité par rapport au masque ?

  1. A0,2
  2. B5
  3. C80
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Réponse : B. 5

La sélectivité vaut « vitesse du film à graver ÷ vitesse du masque (ou de la sous-couche) », soit 100 ÷ 20 = 5. Graver 500 nm d'oxyde érode 100 nm de masque ; compte tenu de la surgravure et de la dégradation du profil, le masque doit avoir au moins environ 150 à 200 nm d'épaisseur. Si la sélectivité est insuffisante, on épaissit le masque ou on passe à un masque dur.

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