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Gravure

Comment appelle-t-on l'étape qui retire la résine photosensible en l'incinérant au moyen d'un plasma d'oxygène ou analogue ?

  1. ADécapage par plasma (ashing)
  2. BRecuit
  3. CDécoupe (dicing)
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Réponse : A. Décapage par plasma (ashing)

L'ashing est l'étape qui oxyde la matière organique de la résine par un plasma d'oxygène ou analogue et l'élimine sous forme de CO2 et de H2O ; son nom vient de la réduction en cendres (ash). Il sert à retirer la résine après son utilisation comme masque de gravure ou d'implantation ionique, suivi d'un nettoyage chimique pour éliminer les résidus. Pour éviter les dommages, on utilise souvent des procédés n'exposant qu'aux radicaux, et sur les films low-k on recourt à des plasmas hydrogénés à la place de l'oxygène.

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