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Gravure

Quels gaz sont couramment utilisés pour la gravure sèche des grilles en polysilicium ?

  1. AL'azote (N2)
  2. BL'hélium (He)
  3. CLes gaz halogénés comme le chlore (Cl2) ou le bromure d'hydrogène (HBr)
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Réponse : C. Les gaz halogénés comme le chlore (Cl2) ou le bromure d'hydrogène (HBr)

La gravure du polysilicium utilise couramment des gaz halogénés comme le chlore ou le bromure d'hydrogène. Ils réagissent avec le silicium pour former les composés volatils SiCl4 ou SiBr4 tout en réagissant à peine avec l'oxyde, ce qui permet une sélectivité élevée, de 100 ou plus, par rapport au mince oxyde de grille sous-jacent. Le HBr forme facilement une couche de passivation sur les flancs et facilite l'obtention de profils verticaux. Un peu d'oxygène est ajouté pour ajuster la quantité de passivation.

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