Comment appelle-t-on le phénomène par lequel, pendant la gravure plasma, un conducteur faisant antenne, comme une longue interconnexion, collecte des charges et endommage l'oxyde de grille auquel il est relié ?

Réponse : C. Effet d'antenne (dommages de charge plasma)

Les interconnexions et électrodes de grille exposées au plasma collectent des charges ; lorsque celles-ci traversent le mince oxyde de la grille reliée sous forme de courant tunnel, l'oxyde se dégrade ou claque. Plus la surface du conducteur (antenne) est grande, plus la charge collectée et l'effet sont importants ; des règles d'antenne limitent donc dans le dessin le rapport entre surface d'interconnexion et surface de grille, et les violations sont corrigées par l'ajout de diodes de protection évacuant les charges ou par un changement de niveau d'interconnexion.