Gravure
Quelle est la caractéristique de la gravure par couches atomiques (ALE) ?
- AElle grave rapidement plusieurs µm en un seul traitement
- BElle alterne modification et retrait de la surface pour contrôler la quantité gravée à l'échelle de la couche atomique
- CC'est une gravure humide isotrope utilisant une solution
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Réponse : B. Elle alterne modification et retrait de la surface pour contrôler la quantité gravée à l'échelle de la couche atomique
L'ALE répète un procédé autolimité : d'abord, seule la couche superficielle est modifiée par réaction, par exemple par adsorption de chlore, puis seule cette couche est retirée par des ions de faible énergie ou analogue. La quantité gravée par cycle étant constante, environ 0,1 à 0,5 nm, le contrôle est précis à l'échelle de la couche atomique, les dommages de surface sont faibles et les différences de vitesse selon la densité des motifs réduites. Équivalent en gravure de l'ALD, elle commence à être utilisée pour les GAA et l'environnement de grille.