エッチング 酸素プラズマなどを使ってフォトレジストを灰化して除去する工程を何と呼ぶか。 Aアッシング Bアニール Cダイシング 答えと解説を見る 正解：A. アッシング アッシングは、酸素プラズマなどでレジストの有機物を酸化させ、CO2やH2Oとして除去する工程です。エッチングやイオン注入のマスクとして使い終わったレジストを取り除くために行い、その後に薬液洗浄で残渣を除去します。