산소 플라즈마 등을 사용해 포토레지스트를 재로 만들어 제거하는 공정을 무엇이라고 부르는가?

정답: A. 애싱

애싱은 산소 플라즈마 등으로 레지스트의 유기물을 산화시켜 CO2나 H2O로 제거하는 공정으로, 재(ash)로 만든다는 의미에서 이렇게 불립니다. 식각이나 이온 주입의 마스크로 쓰고 난 레지스트를 제거하기 위해 수행하며, 그 후 약액 세정으로 잔사를 제거합니다. 손상을 피하기 위해 라디칼만 쬐는 방식이 많고, Low-k막 위에서는 산소 대신 수소계 플라즈마도 사용합니다.