Qu'est-ce que le rapport d'aspect d'un trou ou d'une tranchée formé par gravure ?

Réponse : A. Le rapport entre la profondeur et la largeur (diamètre d'ouverture)

Le rapport d'aspect est la profondeur du trou ou de la tranchée divisée par sa largeur. Par exemple, un trou de 100 nm de diamètre et de 1 µm de profondeur a un rapport d'aspect de 10. Les trous mémoire de la 3D NAND, d'environ 100 nm de diamètre pour plusieurs µm de profondeur, atteignent des rapports d'aspect de 50 à 100. Dans ces structures profondes et étroites, les ions et radicaux atteignent difficilement le fond et la forme du trou se dégrade facilement, ce qui constitue un défi majeur de la gravure. Le rapport des vitesses de gravure est la sélectivité.