エッチング エッチングで形成した穴や溝のアスペクト比とは何か。 A深さと幅(開口径)の比 B上面と底面の面積の比 Cエッチングしたい膜とマスクのエッチング速度の比 答えと解説を見る 正解：A. 深さと幅(開口径)の比 アスペクト比は、穴や溝の深さを幅で割った値です。3D NANDのメモリホールのように、アスペクト比が数十を超える深く細い構造の加工は特に難しく、エッチング技術の大きな課題になっています。エッチング速度の比は選択比です。