식각
식각으로 형성한 구멍이나 홈의 종횡비(애스펙트비)란 무엇인가?
- A깊이와 폭(개구 지름)의 비
- B윗면과 바닥면의 면적 비
- C식각하려는 막과 마스크의 식각 속도 비
정답과 해설 보기
정답: A. 깊이와 폭(개구 지름)의 비
종횡비는 구멍이나 홈의 깊이를 폭으로 나눈 값입니다. 예를 들어 지름 100 nm, 깊이 1 µm의 구멍이라면 종횡비는 10입니다. 3D NAND의 메모리 홀은 지름 약 100 nm에 깊이 수 µm에 이르며 종횡비가 50~100에 달하기도 합니다. 이렇게 깊고 가는 구조에서는 이온과 라디칼이 바닥에 닿기 어렵고 구멍 모양도 흐트러지기 쉬워 식각 기술의 큰 과제가 되고 있습니다. 식각 속도의 비는 선택비입니다.