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Gravure

Quelle méthode est couramment utilisée pour la détection de fin d'attaque en gravure sèche ?

  1. APeser la plaquette
  2. BSurveiller les variations du spectre d'émission du plasma
  3. CVérifier visuellement après gravure
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Réponse : B. Surveiller les variations du spectre d'émission du plasma

Lorsque le film gravé disparaît et que la sous-couche apparaît, la nature et la quantité des produits de réaction dans le plasma changent, et l'intensité d'émission à certaines longueurs d'onde varie. Par exemple, lors de la gravure d'un oxyde, l'émission de CO (483 nm) diminue. La surveillance de cette variation par spectroscopie d'émission optique (OES) permet de détecter la fin d'attaque en temps réel. Lorsque la surface exposée est très petite, le signal devient faible ; on recourt alors aussi à la mesure d'épaisseur par interférométrie.

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