Etsen
Wat is de aspectverhouding van een door etsen gevormd gat of een gevormde sleuf?
- ADe verhouding van diepte tot breedte (openingsdiameter)
- BDe verhouding van de oppervlakte van boven- en onderkant
- CDe verhouding van de etssnelheid van de te etsen film tot die van het masker
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. De verhouding van diepte tot breedte (openingsdiameter)
De aspectverhouding is de diepte van een gat of sleuf gedeeld door de breedte. Bij een gat met een diameter van 100 nm en een diepte van 1 µm is de aspectverhouding bijvoorbeeld 10. De geheugengaten van 3D NAND hebben een diameter van circa 100 nm en een diepte van enkele µm, waarbij de aspectverhouding 50 tot 100 kan bedragen. Bij zulke diepe, smalle structuren bereiken ionen en radicalen de bodem moeilijk en raakt de vorm van het gat gemakkelijk verstoord, wat een grote uitdaging voor de etstechniek is. De verhouding van etssnelheden is de selectiviteit.