Was ist das Aspektverhältnis eines durch Ätzen gebildeten Lochs oder Grabens?

Antwort: A. Das Verhältnis von Tiefe zu Breite (Öffnungsdurchmesser)

Das Aspektverhältnis ist die Tiefe eines Lochs oder Grabens geteilt durch seine Breite. Ein Loch mit 100 nm Durchmesser und 1 µm Tiefe hat beispielsweise ein Aspektverhältnis von 10. Die Memory Holes beim 3D-NAND haben etwa 100 nm Durchmesser bei einigen µm Tiefe, das Aspektverhältnis erreicht 50 bis 100. In solchen tiefen, schmalen Strukturen erreichen Ionen und Radikale den Boden schwer, und auch die Lochform wird leicht gestört, was eine große Herausforderung der Ätztechnik ist. Das Verhältnis der Ätzraten ist die Selektivität.