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Croissance épitaxiale

Quel défaut cristallin typique des couches épitaxiales correspond à une perturbation de l'ordre d'empilement des plans atomiques ?

  1. ACavité
  2. BHillock
  3. CFaute d'empilement
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Réponse : C. Faute d'empilement

La faute d'empilement est un défaut dans lequel l'ordre d'empilement des plans atomiques du cristal (ABCABC… pour les plans {111} du silicium) est localement perturbé. En croissance épitaxiale, elle naît à partir de contaminations, de particules ou de rayures sur la surface du substrat, et apparaît en surface sous forme de motifs triangulaires ou carrés que l'inspection optique permet de dénombrer. Comme elle provoque notamment des courants de fuite dans les dispositifs, le nettoyage avant croissance et le traitement de surface par recuit hydrogène sont importants.

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