에피택셜 성장

에피택셜층에 생기는 대표적인 결정 결함의 하나로, 원자면이 쌓이는 순서가 흐트러진 것은?

  1. A보이드
  2. B힐록
  3. C적층 결함(스태킹 폴트)
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정답: C. 적층 결함(스태킹 폴트)

적층 결함은 결정의 원자면이 쌓이는 순서(실리콘의 {111}면에서는 ABCABC…)가 국소적으로 흐트러진 결함입니다. 에피택셜 성장에서는 기판 표면의 오염, 미립자, 흠집 등을 기점으로 발생하며, 표면에 삼각형이나 사각형 무늬로 나타나므로 광학 검사로 셀 수 있습니다. 소자의 누설 전류 등의 원인이 되므로 성장 전 세정과 수소 베이크에 의한 표면 처리가 중요합니다.

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