Welk veelvoorkomend kristaldefect in epitaxiale lagen is een verstoring van de stapelvolgorde van de atoomvlakken?

Antwoord: C. Stapelfout (stacking fault)

Een stapelfout is een defect waarbij de stapelvolgorde van de atoomvlakken van het kristal (ABCABC… op het {111}-vlak van silicium) lokaal is verstoord. Bij epitaxiale groei ontstaat het vanuit verontreinigingen, deeltjes of krassen op het substraatoppervlak en het verschijnt op het oppervlak als driehoekig of vierkant patroon, zodat het met optische inspectie kan worden geteld. Het veroorzaakt onder meer lekstroom in de component, dus reiniging vóór de groei en oppervlaktebehandeling met een waterstofbake zijn belangrijk.