エピタキシャル成長 エピタキシャル層に生じる代表的な結晶欠陥の一つで、原子面の積み重なりの順序が乱れたものはどれか。 Aボイド Bヒロック C積層欠陥(スタッキングフォルト) 答えと解説を見る 正解：C. 積層欠陥(スタッキングフォルト) 積層欠陥は、結晶の原子面が積み重なる順序が局所的に乱れた欠陥です。エピタキシャル成長では、基板表面の汚染や傷などを起点として発生することがあります。デバイスのリーク電流などの原因になるため、成長前の表面処理が重要です。