Croissance épitaxiale

Comment appelle-t-on la technique, utilisée notamment pour le GaN, qui réduit les dislocations en faisant croître le cristal à partir des ouvertures d'un masque puis latéralement au-dessus du masque ?

  1. AÉpitaxie latérale (ELO)
  2. BALD
  3. CCMP
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : A. Épitaxie latérale (ELO)

En ELO, des ouvertures en bandes sont pratiquées dans un masque de SiO2 ou analogue ; le cristal qui croît à partir de ces ouvertures s'étend latéralement au-dessus du masque et coalesce. Les dislocations se propageant vers le haut depuis le substrat étant bloquées par le masque, la densité de dislocations au-dessus du masque peut être réduite de plusieurs ordres de grandeur. Utilisée à la fin des années 1990 pour allonger fortement la durée de vie des lasers bleu-violet à base de GaN, elle a donné lieu à des variantes sans masque.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Croissance épitaxiale

  1. Quelle méthode fait croître un cristal sur un substrat par précipitation à partir d'une solution métallique fondue ou analogue ?
  2. Quelle valeur est la plus proche de la température de croissance usuelle de l'épitaxie du silicium à partir de trichlorosilane ?
  3. Lorsqu'une fine couche de silicium croît par épitaxie sur une couche de SiGe relaxée de plus grand paramètre de maille, quelle contrainte apparaît dans la couche de silicium ?
  4. Quels sont les principaux paramètres contrôlés pour la qualité d'une plaquette épitaxiée ?
  5. Pourquoi utilise-t-on en épitaxie du SiC un substrat incliné de quelques degrés par rapport à l'axe cristallin (avec angle de désorientation) ?