Quels sont les principaux paramètres contrôlés pour la qualité d'une plaquette épitaxiée ?

Réponse : B. L'épaisseur et la résistivité (concentration de dopants) de la couche épitaxiale ainsi que les défauts cristallins

Pour une plaquette épitaxiée, il est essentiel que l'épaisseur et la résistivité (concentration de dopants) de la couche épitaxiale soient conformes à la spécification et uniformes sur la plaquette, par exemple à ± quelques % près pour l'une comme pour l'autre. La faible densité de défauts cristallins comme les fautes d'empilement et de particules, la planéité et la contamination métallique sont également contrôlées. L'épaisseur se mesure de façon non destructive par FTIR, la résistivité par mesure C-V ou analogue, et les défauts sont dénombrés par un inspecteur de surface à diffusion laser.