Croissance épitaxiale
Quel est un exemple de croissance hétéroépitaxiale ?
- ALa croissance de silicium sur un substrat de silicium
- BLa croissance de SiGe sur un substrat de silicium
- CL'oxydation thermique d'un substrat de silicium
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Réponse : B. La croissance de SiGe sur un substrat de silicium
La croissance d'un matériau identique au substrat est l'homoépitaxie, celle d'un matériau différent l'hétéroépitaxie. Le SiGe sur silicium, le GaN sur saphir ou SiC et l'AlGaAs sur GaAs sont des exemples d'hétéroépitaxie, où la gestion des contraintes et des défauts dus aux différences de paramètre de maille et de dilatation thermique constitue un enjeu. Le SiO2 formé par oxydation thermique est une couche amorphe obtenue en consommant le silicium et ne relève pas de la croissance épitaxiale.