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Croissance épitaxiale

Quel problème survient facilement lorsque la différence de paramètre de maille entre le substrat et la couche (désaccord de maille) est importante ?

  1. AApparition de défauts cristallins comme les dislocations de désaccord
  2. BLa couche devient obligatoirement amorphe
  3. CLa vitesse de croissance devient nulle
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Réponse : A. Apparition de défauts cristallins comme les dislocations de désaccord

Lors de la croissance d'un matériau de paramètre de maille différent, la couche se comprime ou s'étire pour s'adapter au substrat et accumule des contraintes ; au-delà de l'épaisseur critique, des dislocations de désaccord apparaissent à l'interface pour relaxer ces contraintes. Une partie d'entre elles traverse la couche sous forme de dislocations traversantes, entraînant courants de fuite, baisse du rendement lumineux et réduction de la durée de vie. Les remèdes sont les couches tampons à composition graduelle, les super-réseaux qui courbent les dislocations ou la croissance sélective.

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