Croissance épitaxiale
Quelle est la définition de la croissance épitaxiale ?
- ALa croissance d'une couche mince monocristalline sur un substrat monocristallin, en alignant son orientation cristalline sur celle du substrat
- BLe dépôt d'une couche amorphe sur un substrat
- CLa fusion du substrat à haute température suivie de sa recristallisation
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Réponse : A. La croissance d'une couche mince monocristalline sur un substrat monocristallin, en alignant son orientation cristalline sur celle du substrat
Dans la croissance épitaxiale, les atomes s'empilent en prolongeant l'arrangement cristallin du substrat, ce qui donne une couche monocristalline de même orientation que celui-ci. La concentration de dopants et le matériau peuvent être choisis indépendamment du substrat, et la couche obtenue contient moins de défauts qu'une plaquette CZ ; elle est donc utilisée pour les couches de dérive faiblement dopées des composants de puissance, les substrats de capteurs d'image CMOS, le SiGe des sources/drains de transistors ou encore les structures multicouches des LED et lasers.