박막 증착(CVD와 PVD)

ALD에서 표면의 자기 정지적 반응으로 1사이클당 막 두께가 일정해지는 온도 범위를 무엇이라고 합니까?

  1. A유리 전이점
  2. BALD 윈도우
  3. C공정 마진
정답과 해설 보기

정답: B. ALD 윈도우

ALD에서는 온도가 너무 낮으면 원료가 응축되거나 반응이 불충분하고, 너무 높으면 원료가 열분해되어 CVD처럼 성장하거나 흡착된 분자가 탈착됩니다. 그 사이의, 1사이클당 막 두께가 거의 일정해지는 온도 범위가 ALD 윈도우이며, 예를 들어 TMA(트리메틸알루미늄)와 물에 의한 Al2O3는 약 150~300 ℃로 넓게 잡을 수 있습니다. 이 범위에서 성막하면 온도 편차에 강하고 재현성도 높아집니다.

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