成膜(CVD・PVD)

ALDで、表面の自己停止的な反応によって1サイクルあたりの膜厚が一定になる温度の範囲を何と呼ぶか。

  1. Aガラス転移点
  2. BALDウィンドウ
  3. Cプロセスマージン
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正解：B. ALDウィンドウ

ALDでは、温度が低すぎると原料が凝縮したり反応が不十分になり、高すぎると原料が熱分解してCVDのような成長になったり、吸着した分子が脱離したりします。その間の、1サイクルあたりの膜厚がほぼ一定になる温度範囲をALDウィンドウと呼び、この範囲で成膜します。

  • A. ガラス転移点は、ガラスやポリマーが軟らかくなり始める温度です。
  • B. 正しい。成長が自己停止的になる温度範囲です。
  • C. プロセスマージンは工程条件の余裕全般を指す言葉です。
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