En CVD, comment appelle-t-on le phénomène selon lequel une plus grande surface de plaquettes ou de motifs à recouvrir consomme davantage de précurseur et réduit la vitesse de dépôt ?

Réponse : B. Effet de charge (loading)

En CVD, une grande surface réactive accroît la consommation de gaz précurseur, et la vitesse de dépôt diminue là où l'apport ne suit pas. Ce phénomène, où la vitesse de dépôt dépend du nombre de plaquettes ou de la surface de motifs exposée (densité de motifs), est l'effet de charge : dans un four à lots, l'épaisseur diffère entre l'entrée et le fond du four, et dans une puce, entre zones denses et zones clairsemées. On le corrige par la répartition des débits de gaz et des températures.