Français
Menu

Dépôt (CVD et PVD)

Dans un équipement CVD, quelle pièce distribue uniformément le gaz précurseur au-dessus de la plaquette à travers de nombreux petits trous ?

  1. APomme de douche (showerhead)
  2. BSuscepteur
  3. CPort de chargement
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : A. Pomme de douche (showerhead)

La pomme de douche est une plaque percée de centaines à milliers de petits trous qui distribue uniformément le gaz précurseur sur toute la plaquette. La disposition et la taille des trous permettent d'ajuster l'uniformité d'épaisseur, et en PECVD elle sert aussi d'électrode supérieure. Sa température est contrôlée pour éviter qu'un film ne s'y dépose et ne génère des particules. Le support qui porte et chauffe la plaquette est le suscepteur (élément chauffant), et l'emplacement où l'on pose le conteneur de plaquettes est le port de chargement.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Dépôt (CVD et PVD)

  1. Quelle méthode de dépôt remplit depuis le fond des tranchées très étroites et profondes avec un film fluide, puis le solidifie ?
  2. Que fait-on généralement pour augmenter la vitesse de dépôt en pulvérisation ?
  3. À matériau égal, en quoi un film de CVD thermique à haute température est-il généralement supérieur à un film PECVD ?
  4. Quel est l'ordre de grandeur de l'épaisseur déposée par cycle d'ALD ?
  5. Quel est l'avantage de l'évaporation sous vide avec chauffage du matériau par faisceau d'électrons ?

Comparatifs sur ce thème