Nederlands
Menu

Laagafzetting (CVD, PVD)

Welk onderdeel van een CVD-apparaat levert het brongas gelijkmatig vanaf boven de wafer via veel kleine gaten?

  1. AShowerhead
  2. BSusceptor
  3. CLoadport
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Showerhead

Een showerhead is een plaat met honderden tot duizenden kleine gaten die het brongas gelijkmatig over de gehele wafer blaast. De verdeling van positie en grootte van de gaten stelt de uniformiteit van de laagdikte af en bij plasma-CVD dient hij tevens als bovenelektrode. Zijn temperatuur wordt geregeld om te voorkomen dat zich op de kop zelf een laag vormt die deeltjes veroorzaakt. De tafel waarop de wafer ligt en wordt verwarmd heet susceptor (heater) en de plaats waar de wafercassette wordt geplaatst heet loadport.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Laagafzetting (CVD, PVD)

  1. Welke depositiemethode vult zeer smalle, diepe sleuven van onderaf met een vloeibare laag en laat die daarna stollen?
  2. Wat wordt bij sputteren gewoonlijk gedaan om de depositiesnelheid te verhogen?
  3. Welk voordeel hebben lagen van thermische CVD bij hoge temperatuur gewoonlijk ten opzichte van plasma-CVD-lagen van hetzelfde materiaal?
  4. Welke richtwaarde voor de laagdikte die in één ALD-cyclus wordt afgezet is juist?
  5. Welk voordeel heeft vacuümopdampen waarbij het materiaal met een elektronenbundel wordt verhit?

Vergelijkingen bij dit onderwerp