成膜(CVD・PVD)

CVD装置で、原料ガスをウエハの上から多数の小さな穴を通して均一に供給する部品はどれか。

  1. Aシャワーヘッド
  2. Bサセプタ
  3. Cロードポート
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正解：A. シャワーヘッド

シャワーヘッドは、多数の小さな穴をもつ板で、原料ガスをウエハ全面に均一に吹き付けます。プラズマCVDでは電極を兼ねることもあります。ウエハを載せて加熱する台はサセプタ(ヒーター)と呼ばれます。

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