Quel problème survient facilement lorsque la contrainte interne d'un film déposé est élevée ?

Réponse : A. Courbure de la plaquette, décollement ou fissuration du film

Une contrainte de traction ou de compression subsiste dans les films minces, due aux conditions de dépôt (contrainte intrinsèque) ou à la différence de coefficient de dilatation thermique avec le substrat (contrainte thermique), et peut atteindre quelques centaines de MPa à 1 GPa. Une forte contrainte courbe la plaquette de quelques dizaines à quelques centaines de µm, ce qui fausse la mise au point et la superposition en lithographie, ou provoque le décollement et la fissuration du film. À l'inverse, la technique des stress liners exploite délibérément la contrainte d'un film de nitrure pour déformer le canal et augmenter la mobilité.