當所沉積薄膜的內部應力很大時，容易發生的問題為下列何者？

正確答案：A. 晶圓翹曲，以及薄膜剝落、龜裂

薄膜會因成膜條件（本質應力）或與基板之間的熱膨脹係數差（熱應力）而殘留拉伸應力或壓縮應力，有時可達數百MPa～1 GPa左右。應力大時，晶圓會翹曲數十～數百µm，造成曝光的焦點或疊對偏移，薄膜也會剝落或破裂。另一方面，也有刻意利用氮化膜的應力對通道施加應變以提高遷移率的應力襯層（stress liner）技術。