Comment appelle-t-on la méthode consistant à déposer un matériau liquide au centre de la plaquette et à la faire tourner rapidement pour obtenir un film uniforme ?

Réponse : B. Enduction centrifuge (spin coating)

En enduction centrifuge, le liquide déposé au centre de la plaquette est étalé par la force centrifuge à plusieurs milliers de tr/min, l'excédent est éjecté et un film uniforme est obtenu. L'épaisseur est à peu près inversement proportionnelle à la racine carrée de la vitesse de rotation et se règle par la viscosité du liquide. La dispersion sur la plaquette peut être maintenue à quelques nm ; on l'utilise pour la résine photosensible, les films antireflets, les diélectriques déposés par enduction (SOG) et les films de protection en polyimide. La majeure partie du liquide étant éjectée, le rendement d'utilisation est assez faible.