Nederlands
Menu

Laagafzetting (CVD, PVD)

Welk probleem treedt gemakkelijk op wanneer de interne spanning van een afgezette dunne laag groot is?

  1. AKromtrekken van de wafer en loslaten of scheuren van de laag
  2. BAlleen de kleur van de laag verandert, zonder bijzonder probleem
  3. CDe elektrische weerstand van de laag wordt 0
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Kromtrekken van de wafer en loslaten of scheuren van de laag

In dunne lagen blijft trekspanning of drukspanning achter door de depositiecondities (intrinsieke spanning) en het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt met het substraat (thermische spanning), die kan oplopen tot enkele honderden MPa tot circa 1 GPa. Bij grote spanning trekt de wafer enkele tientallen tot honderden µm krom, waardoor focus en overlay van de belichting afwijken, of laat de laag los of scheurt hij. Daarentegen bestaat ook de stressliner-techniek, waarbij de spanning van een nitridelaag bewust wordt benut om het kanaal onder spanning te zetten en de mobiliteit te verhogen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Laagafzetting (CVD, PVD)

  1. Hoe heet de methode waarbij een vloeibaar materiaal op het midden van de wafer wordt gedruppeld en met hoge snelheid wordt rondgedraaid om een gelijkmatige laag te vormen?
  2. Welke vloeibare organosiliciumverbinding wordt veel gebruikt als brongas voor CVD van siliciumoxide?
  3. Welk gas wordt als brongas gebruikt bij CVD van wolfraam?
  4. Waarom wordt hoogdichtheids-plasma-CVD (HDP-CVD) gebruikt voor het opvullen van smalle sleuven met isolatiemateriaal?
  5. Welke toepassing van siliciumnitridelagen (Si3N4) is juist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp