成膜した薄膜の内部応力が大きいときに起こりやすい問題はどれか。

正解：A. ウエハの反りや、膜の剥がれ・クラック

薄膜には、成膜条件や基板との熱膨張係数の差によって引っ張り応力や圧縮応力が残ります。応力が大きいとウエハが反って露光の焦点が合わなくなったり、膜が剥がれたり割れたりします。一方で、応力をあえて利用してチャネルにひずみを加える技術もあります。