박막 증착(CVD와 PVD)

성막한 박막의 내부 응력이 클 때 발생하기 쉬운 문제는?

  1. A웨이퍼의 휨, 막의 박리·크랙
  2. B막의 색만 변할 뿐 특별한 문제는 없다
  3. C막의 전기 저항이 0이 된다
정답과 해설 보기

정답: A. 웨이퍼의 휨, 막의 박리·크랙

박막에는 성막 조건(진성 응력)이나 기판과의 열팽창 계수 차이(열 응력)로 인해 인장 응력이나 압축 응력이 남으며, 수백 MPa~1 GPa 정도에 이르기도 합니다. 응력이 크면 웨이퍼가 수십~수백 µm 휘어 노광의 초점이나 오버레이가 어긋나고, 막이 벗겨지거나 갈라집니다. 한편 질화막의 응력을 일부러 이용해 채널에 스트레인을 가해 이동도를 높이는 스트레스 라이너 기술도 있습니다.

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