Was ist der Hauptzweck von SC-1 (Mischung aus Ammoniak und Wasserstoffperoxid) bei der RCA-Reinigung?

Antwort: B. Entfernung von Partikeln und organischen Stoffen

SC-1 (NH4OH:H2O2:H2O, z. B. 1:1:5, etwa 70 ℃) oxidiert die Oberfläche mit Wasserstoffperoxid und löst diese Oxidschicht mit Ammoniak langsam mit etwa 0,1 bis 1 nm pro Minute auf; dadurch werden Partikel von unten unterspült und entfernt. Im alkalischen Milieu laden sich Partikel und Oberfläche beide negativ auf und stoßen sich ab, sodass auch eine Wiederablagerung erschwert wird. Auch organische Stoffe werden wirksam entfernt. Metallische Verunreinigungen werden mit SC-2, das natürliche Oxid mit verdünnter Flusssäure entfernt.