Nederlands
Menu

CMP en reiniging

Wat is het belangrijkste doel van SC-1 (mengsel van ammonia en waterstofperoxide) dat bij RCA-reiniging wordt gebruikt?

  1. AVerwijderen van metaalverontreiniging
  2. BVerwijderen van deeltjes en organische stoffen
  3. CVerwijderen van natuurlijk oxide
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Verwijderen van deeltjes en organische stoffen

SC-1 (NH4OH:H2O2:H2O, bijvoorbeeld 1:1:5, circa 70 ℃) oxideert het oppervlak met waterstofperoxide en lost die oxidefilm met ammonia langzaam op, met circa 0,1 tot 1 nm per minuut, waardoor deeltjes van onderaf worden losgemaakt en verwijderd. In alkalische omgeving laden deeltjes en oppervlak beide negatief op en stoten elkaar af, zodat opnieuw aanhechten moeilijk is. Het is ook effectief tegen organische stoffen. Voor het verwijderen van metaalverontreiniging wordt SC-2 gebruikt en voor natuurlijk oxide verdund fluorwaterstofzuur.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over CMP en reiniging

  1. Welke uitspraak over "dishing" bij CMP is juist?
  2. Wat is het belangrijkste doel van reiniging met verdund fluorwaterstofzuur (DHF)?
  3. Welke uitspraak over de slurry die bij CMP wordt gebruikt is juist?
  4. Wat is het belangrijkste doel van reiniging met een mengsel van zwavelzuur en waterstofperoxide (SPM)?
  5. Wat moet bij reiniging na CMP vooral worden verwijderd?