Was ist Nassätzen?

Ätzen, bei dem Schichten durch Eintauchen in Chemikalien aufgelöst werden. Die Selektivität ist hoch und die Schädigung gering, doch es verläuft meist isotrop und eignet sich nicht für feine Strukturierung.

Japanische Bezeichnung: ウェットエッチング

Fachgebiet: Ätzen

Vergleiche mit diesem Begriff

Verwandte Begriffe

ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)

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