Was ist Ätzselektivität?
Beim Ätzen das Verhältnis der Ätzrate der Zielschicht zu der von Maske oder darunterliegender Schicht. Höhere Selektivität bedeutet weniger Schädigung der Unterschicht.
Japanische Bezeichnung: 選択比
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen