Was ist Endpunkterkennung?
Erkennen des Moments, in dem die Zielschicht vollständig durchgeätzt ist, meist durch Beobachten von Änderungen im Emissionsspektrum des Plasmas.
Japanische Bezeichnung: 終点検出
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma) Isotropes Ätzen